3.3.2 干涉测量精度与稳定度

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3.3.2 干涉测量精度与稳定度 3.3.2 干涉测量精度与稳定度在精密光学测量的宏大图景中，干涉测量技术以其无与伦比的分辨率和非接触特性，长期占据着核心地位。然而，任何一项高精度测量技术的价值，最终都归结于两个根本性指标：精度（accuracy）与稳定度（stability）。如果说干涉仪是“光的语言翻译器”，那么精度决定了它能否忠实还原被测对象的真实形貌，而稳定度则决定了它在时间维度上是否值得信赖。二者共同构成了干涉测量技术实用化的基石，也往往是工程实现中最棘手的挑战所在。精度的本质：从波长到亚纳米的极限追寻干涉测量的基本原理建立在光的波动性之上——当两束相干光相遇时，其相位差 $\Delta \phi$ 直接转化为可观测的干涉条纹强度分布。