5.2 光刻与蚀刻技术

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5.2 光刻与蚀刻技术 5.2 光刻与蚀刻技术：微纳世界的雕刻师在集成电路制造的宏大交响曲中，光刻与蚀刻是那两把最锋利、最精密的刻刀。它们不切割木石，不雕琢金属，却在硅晶圆上刻画出纳米级的电路图案——那是现代文明赖以运行的神经脉络。没有这两项技术，摩尔定律将止步于纸上谈兵，智能手机不过是科幻小说里的幻想，人工智能更无从谈起。我们正站在微观世界的悬崖边，俯瞰那些只有头发丝万分之一宽的线条。而光刻与蚀刻，就是让我们得以在这悬崖上稳稳落脚，并继续向前探索的登山杖与绳索。一、光刻：用光作画，在硅片上写下未来光刻（Photolithography），字面意思是“用光来书写”。它并非新奇概念，早在19世纪中期，人们就用类似方法制作印刷版。