1.1.1 MEMS的定义与内涵

文档摘要

1.1.1 MEMS的定义与内涵 MEMS，微机电系统——这四个字在实验室的示波器旁、在晶圆厂的洁净室里、在自动驾驶域控制器的散热片下，早已不是教科书里泛黄纸页上的抽象概念。它是一粒硅基世界里的“机械心脏”，是光刻胶层下0.5 μm宽的悬臂梁，是惯性导航中每秒采样2000次的陀螺仪谐振腔，更是当你的手机屏幕自动旋转时，背后那枚仅3 mm×3 mm、功耗不足80 μW的加速度计所完成的一次亚微秒级力-电耦合响应。但问题来了：当我们说“MEMS”时，我们究竟在指什么？是泛泛而谈的“微型传感器”？还是某家FAB厂宣传册上写着“采用SOI工艺”的模糊标签？抑或只是IC设计工程师眼中“隔壁车间做的那个带活动结构的玩意儿”？不。