5.3.1 版图设计规范（DRC）

文档摘要

5.3.1 版图设计规范（DRC）在MEMS器件的产业化进程中，版图设计规范（Design Rule Check, DRC）从来不是一张印在PDF里的静态清单，而是一条流淌在EDA工具内核中的“物理契约”——它既约束着设计师指尖划出的每一根多边形边界，也校验着微米级结构在真实硅基底上能否被光刻、刻蚀、释放、封装所忠实复现。当我们在Cadence Virtuoso中拖拽一个梳齿驱动器，在L-Edit里拼接一个压阻桥臂，或在CoventorWare中导入一个SOI悬臂梁拓扑时，真正决定项目生死的，往往不是那个炫目的3D仿真动画，而是后台悄然运行的一组DRC规则引擎：它用布尔几何运算扫描百万级图层交叠，以亚像素精度判断两根金属线之间是否真的留出了足够的干法刻蚀侧壁余量；