6.1.2 MEMS陀螺仪：科里奥利力（Coriolis Force）与模态匹配

文档摘要

6.1.2 MEMS陀螺仪：科里奥利力（Coriolis Force）与模态匹配在MEMS陀螺仪的世界里，科里奥利力不是教科书里那个遥远而抽象的偏转效应——它是硅片上一根微米级音叉梁在高速振颤时，因旋转而悄然“歪斜”的毫微米级位移；它不是理论物理课上的思想实验，而是你调试驱动模态时示波器上跳动的相位差、是闭环控制环路中积分器输出缓慢爬升的电压、是你在-40℃低温箱里发现零偏漂移突然翻倍的那个凌晨三点。今天，我们不谈定义，不列综述，不堆砌参数表。我们拆开一颗ADIS16470，用探针碰一碰它的X/Y轴驱动电极；我们重写一段实时卡尔曼滤波器，在STM32H743上跑通全状态观测；我们亲手调谐一对模态频率，让$fd$和$fs$之差从123Hz压到±0.