1.3.1.1 亚波长尺寸限制

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1.3.1.1 亚波长尺寸限制亚波长尺寸限制：不是物理边界的叹息，而是设计语言的重写——一位光子集成工程师在硅基超构表面流片失败第七次后的手记凌晨两点十七分，洁净室监控屏右下角跳动着温度读数：23.4℃；氮气纯度：99.9997%；晶圆传输臂刚刚完成第14轮ALD沉积。我盯着电子显微镜传回的SEM图像——那片标称“50 nm线宽、周期380 nm”的钛酸钡（BaTiO₃）超构单元阵列，在80 kV加速电压下显出毛刺状边缘，侧壁倾角仅62°，顶部坍塌宽度达±12 nm。良率报表上，该批次光栅耦合器的TE₀模耦合效率均值为32.7%，标准差高达±9.4%。而仿真预测值是68.3±1.1%。