3.3.2.2 大面积三维结构制造

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3.3.2.2 大面积三维结构制造 3.3.2.2 大面积三维结构制造：当干涉条纹在100 mm基板上“走偏”0.8 μm时，我们不是重调光路——而是重构相位补偿的时空逻辑你有没有在凌晨三点盯着全息光刻曝光场边缘那圈若隐若现的莫尔条纹发呆？不是设计图的问题，不是掩模版的误差，甚至激光器的频率稳定性也优于$10^{-8}$——可就在直径100 mm的熔融石英基板中心到边缘的过渡区，周期性结构的占空比从49.7%滑落到43.2%，层间对准偏差悄然突破±120 nm阈值。那一刻，你意识到：所谓“大面积”，从来不是把小视场简单平铺；它是光波、材料、机械与时间四重奏中一个音符的微小失谐，便足以让整部交响曲崩解为噪声。