6.3.2.1 界面态操控

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6.3.2.1 界面态操控 6.3.2.1 界面态操控：在SiN-on-SOI波导中用亚波长刻蚀深度梯度实现界面态的单向抑制——一个被三次流片验证的工艺鲁棒性方案你有没有在调试一款基于氮化硅（SiN）/绝缘体上硅（SOI）异质波导的窄线宽激光器时，发现输出光谱里总有一组挥之不去的、间距约0.8 nm、强度起伏达15 dB的寄生边模？它们不随温度调谐而平滑移动，也不随偏压线性漂移，却在每次耦合效率优化后突然增强；你反复检查了TE/TM模式分离、腔长设计、端面抗反射镀膜——全都合规。