7.1.2.1 多项目晶圆(MPW)流程


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7.1.2.1 多项目晶圆(MPW)流程 7.1.2.1 多项目晶圆(MPW)流程:当GDSII层叠顺序错位一帧,整片MPW流片即成“硅砖”——一个被掩模厂退回三次的Metal-4层命名冲突故障全链路复盘与可复用校验方案 凌晨两点十七分,邮件标题刺眼地亮着:“MPW-2024Q3-087A —— Mask Data Review Failed (Critical): Layer M4 conflict in GDSII hierarchy @ cell ‘ldotopv2’”。附件里是掩模厂发来的红色批注PDF:三处Metal-4几何图形被标记为“UNDEFINED LAYER”,而我们的PDK中明确定义了 为 。


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