1.2.2 结构化创新的本质:增强栅极受控力 #### 1.2.2 结构化创新的本质:增强栅极受控力 ——一场在纳米尺度上重写“开关权”的静默革命 你有没有试过,在凌晨三点盯着一块良率只有68%的FinFET晶圆测试图,放大到Gate-all-around(GAA)沟道截面,看着那几根微微扭曲的纳米片——不是工艺偏移,不是光刻套准误差,而是栅极电场在垂直方向上“松了手”? 不是漏电,不是阈值漂移,更不是DIBL恶化。