2.2.3 阈值电压 (Vth) 的调控机制

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2.2.3 阈值电压 (Vth) 的调控机制 2.2.3 阈值电压（$V{\text{th}}$）的调控机制：一个被低估的“硅基调音师”——以高$k$/金属栅FinFET中氮化钛（TiN）功函数钉扎误差的实时补偿为切口你有没有试过，在流片前仿真里 $V{\text{th}}$ 精准落在 $-0.21\,\text{V} \pm 15\,\text{mV}$，可实测晶圆图上却突然冒出一片“红区”：同一批次、同一掩模、同一炉退火，$V{\text{th}}$ 在NMOS器件上竟漂移至 $-0.34\,\text{V}$，而PMOS却压低到 $+0.18\,\text{V}$？