7.2 后 FinFET 时代：向 GAAFET 跨越

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7.2 后 FinFET 时代：向 GAAFET 跨越 7.2 后 FinFET 时代：向 GAAFET 跨越当我们在第七章开篇回望FinFET的诞生，那是一场在物理悬崖边完成的精密平衡术——三面栅极如一双谨慎伸展的手，托住了不断萎缩的沟道，抑制了短沟道效应，延缓了摩尔定律的失速。但再精巧的结构，终有其几何与物理的边界。当鳍高（fin height）逼近15 nm、鳍宽（fin width）滑入5 nm量级，当栅极长度（$Lg$）压缩至3 nm以下，当源漏寄生电阻（$R{\text{source}} + R{\text{drain}}$）开始主导总导通电阻，当量子隧穿电流在栅介质中悄然涨潮，我们便不得不承认：FinFET不是终点，而是一座桥；