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7.1 微纳加工：从毫米 PCB 到纳米光刻 本节摘要：超材料的单元尺寸由工作波长定价，工艺选择因此被频段锁定：微波段用印刷电路板蚀刻毫米级铜图形，太赫兹到红外用半导体光刻与薄膜沉积做微米到百纳米结构，可见光段交给电子束光刻与原子层沉积。本节沿尺度阶梯逐级盘点工艺能力、精度账与成本账，并解释"几纳米误差毁掉一个设计"的敏感来源。 会员。《7.1 微纳加工：从毫米 PCB 到纳米光刻》收录于灏天文库文集《超材料Metamaterials》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/838-%E8%B6%85%E6%9D%90%E6%96%99metamaterials

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