1.2.1.2 夫琅禾费衍射与菲涅耳衍射


文档摘要

1.2.1.2 夫琅禾费衍射与菲涅耳衍射 当菲涅耳积分在实时衍射仿真中开始“喘不过气”:一个工程师在激光微加工产线上的临界优化手记 凌晨两点十七分,第17次烧毁的硅基掩模版静静躺在洁净台中央——边缘出现0.8 μm级非预期亮斑,而设计要求的衍射焦斑尺寸公差是±0.3 μm。产线停机已超93分钟,MES系统弹出红色预警:“Pattern Fidelity Alert Level 4”。这不是学术论文里的理想高斯光束,也不是MATLAB里跑得飞快的 玩具模型。这是搭载650 nm单纵模DPSS激光器、扫描速度达12 m/s、每秒需完成237次亚微米级衍射场重构的真实产线控制节点。


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