2.1.1 汞灯光源（G-line, I-line）

文档摘要

2.1.1 汞灯光源（G-line, I-line）在半导体光刻工艺的精密宇宙里，光源不是舞台上的聚光灯，而是一把被校准到原子尺度的“时间之刃”——它不照亮物体，而是以光子为刻刀，在硅片上雕刻出人类迄今最精微的逻辑结构。当我们谈论“2.1.1 汞灯光源（G-line, I-line）”，我们并非在复述一段尘封的工业史；而是在拆解一台仍在产线中持续服役、每年支撑数千万片晶圆曝光的“光学活化石”的神经末梢：它的电弧稳定性如何被毫秒级闭环压制？它的光谱纯度如何在汞蒸气压与冷凝温度的毫米级热力学博弈中被锁定？它的I-line（365 nm）输出功率为何在连续运行4小时后必然衰减2.3%±0.4%，而这个数字又恰恰对应着石英灯管内壁Hg₂O薄膜的生长速率？