2.1.3 极紫外激光等离子体光源（EUV 13.5nm, LPP原理）

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2.1.3 极紫外激光等离子体光源（EUV 13.5nm, LPP原理）极紫外激光等离子体光源（EUV LPP），不是实验室里闪烁几下就收工的演示装置，而是一台精密到毫微米、暴烈到兆瓦级、稳定到皮秒量级的“光之锻炉”——它把一束高能红外激光，精准轰击一粒直径仅25微米的锡（Sn）液滴，在百万分之一秒内将其电离为温度超过20万开尔文的稠密等离子体；就在这个转瞬即逝的“微型太阳核心”中，锡原子的4p→4d跃迁辐射出波长严格锁定在13.5 nm±0.135 nm（即1%带宽）的极紫外光子。这不是光的发射，而是物质在能量临界点上的量子性喷发；不是光学工程的终点，而是摩尔定律在物理极限处的最后一次深蹲起跳。