文档摘要

2.1.3 极紫外激光等离子体光源（EUV 13.5nm, LPP原理） 极紫外激光等离子体光源（EUV LPP），不是实验室里闪烁几下就收工的演示装置，而是一台精密到毫微米、暴烈到兆瓦级、稳定到皮秒量级的“光之锻炉”——它把一束高能红外激光，精准轰击一粒直径仅25微米的锡（Sn）液滴，在百万分之一秒内将其电离为温度超过20万开尔文的稠密等离子体；就在这个转瞬即逝的“微型太阳核心”中，锡原子的4p→4d跃迁辐射出波长严格锁定在13. 会员。《2.1.3 极紫外激光等离子体光源（EUV 13.5nm， LPP原理）》收录于灏天文库文集《光刻工艺学》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号62354。

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