2.2.2.2 像差（Aberrations）及其对成像的影响（Zernike多项式）
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2.2.2.2 像差（Aberrations）及其对成像的影响（Zernike多项式） 2.2.2.2 像差（Aberrations）及其对成像的影响（Zernike多项式） ——一个投影物镜工程师在凌晨三点调通第17版Zernike补偿模型后写下的实战手记 凌晨2:47，洁净室恒温系统发出轻微嗡鸣。我盯着屏幕上那条反复抖动的MTF曲线——在0.85 NA、193 nm波长、1×缩放、120 μm视场直径下，离轴0.65处的对比度崩塌至31.2%，远低于设计值的68%。而光瞳采样点上，Zernike系数 $ Z5 $（astigmatism, $ \rho^2 \cos 2\theta $）跳变达0.
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