2.3.3 对准（Alignment）与调焦测平（Leveling）传感器

文档摘要

2.3.3 对准（Alignment）与调焦测平（Leveling）传感器在光刻机的精密运动控制系统中，工件台与对准系统是整机性能的“神经末梢”与“视觉中枢”。如果说工件台是承载硅片、执行纳米级轨迹的“高精度舞者”，那么对准（Alignment）与调焦测平（Leveling）传感器，就是它赖以判断自身姿态、感知晶圆表面形貌、并在亚10纳米尺度下完成空间定位的“双眼”与“触觉神经”。它们不发声，却每秒输出数万组高信噪比的光学干涉信号；它们不移动，却决定着曝光场套刻误差（Overlay Error）能否压入1.2 nm以内——这已逼近当前EUV光刻机的物理极限。而本节所聚焦的 2.3.