3.2.2.1 光致酸产生过程

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3.2.2.1 光致酸产生过程 3.2.2.1 光致酸产生过程：当PAG分子在13.5 nm极紫外光下“失稳一瞬”，我们如何用毫秒级淬灭策略锁住酸产率——一个CAR工艺中被长期低估的激子猝灭窗口实测与工程化闭环控制方案你有没有遇到过这样的现场窘境？同一台NXE:3400B光刻机，同一套ASML TWINSCAN平台，同样的BARC/HSQ底层、相同的涂胶匀胶参数、甚至同一批次的JSR ARF-7780化学放大胶，但在曝光后PECVD烘烤前的FTIR酸浓度扫描曲线上，相邻两片晶圆的磺酸基（–SO₃H）峰面积标准差突然从±1.8%飙升至±6.3%；更诡异的是，这种波动并非随时间单向漂移，而是呈现无规律的“锯齿振荡”——上午第3片异常高，下午第7片又异常低，中间夹着三片完全正常的。