3.2.2.3 酸扩散（Acid Diffusion）控制
文档摘要
3.2.2.3 酸扩散（Acid Diffusion）控制 3.2.2.3 酸扩散（Acid Diffusion）控制：一场在纳米尺度上与时间赛跑的精密博弈 你有没有试过，在光刻胶薄膜里“种下”一粒酸——不是滴一滴盐酸，而是用193 nm紫外光激发一个光致产酸剂（PAG），让它在曝光后原位释放一个质子（H⁺）；然后眼睁睁看着这粒酸，在室温下、在无外力驱动的状态下，像一滴墨汁落入清水般悄然晕染开来，悄无声息地游走20 nm、30 nm，甚至45 nm？
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