5.2.1 环形、偶极（Dipole）、四极（Quadrupole）照明

文档摘要

5.2.1 环形、偶极（Dipole）、四极（Quadrupole）照明在光刻工艺的精密世界里，光源从来不是一盏“灯”那么简单——它是一支被严格编排的光之交响乐团。当波长缩至193 nm、特征尺寸逼近10 nm时，衍射效应早已不再是教科书里的示意图，而是晶圆上真实浮现的模糊条纹、线宽偏移与套刻误差。此时，传统均匀照明（Conventional Illumination, CI）那“面光源式”的温柔已彻底失效：它把所有空间频率成分一视同仁地照亮，却让高阶衍射光束在掩模后焦面（Fourier plane）上彼此重叠、相互干扰，最终在像面上酿成不可控的对比度坍塌。