1.1.1.1 典型晶体结构：金刚石、闪锌矿与纤锌矿结构

文档摘要

1.1.1.1 典型晶体结构：金刚石、闪锌矿与纤锌矿结构 1.1.1.1 典型晶体结构：金刚石、闪锌矿与纤锌矿结构 ——一个晶格矢量偏移引发的外延生长失效事故复盘与原子级建模修正方案凌晨两点十七分，Fab 23 的MOCVD反应腔报警灯第三次亮起。不是温度异常，不是载气流量波动，也不是射频匹配失锁。而是——在GaAs衬底上外延生长的InGaN量子阱发光层，PL峰值波长连续三炉漂移+8.3 nm，半高宽（FWHM）从14.2 meV劣化至28.7 meV，且EL图像呈现明显横向发光不均匀性。工艺组连夜调取XRD ω-2θ扫描曲线，发现（0002）峰不对称拖尾，而（10\bar{1}0）峰积分强度衰减达41%。