2.2.3.2 二维电子气（2DEG）的形成原理

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2.2.3.2 二维电子气（2DEG）的形成原理 2.2.3.2 二维电子气（2DEG）的形成原理：AlGaAs/GaAs异质结中掺杂偏移量的毫米级工艺容差如何在纳米尺度上决定2DEG迁移率——一个晶圆厂现场调试工程师的故障归因手记凌晨两点十七分，Fab-7洁净室B区第14号MBE腔体报警灯第三次亮起。不是真空度异常，不是束流波动，也不是热偶漂移——而是霍尔测试台传回的低温（4.2 K）迁移率数据连续三炉跌穿 $ \mu{\text{2DEG}} = 1.8 \times 10^6 \, \text{cm}^2/\text{V}\cdot\text{s} $ 的红线。而设计值是 $ 2.3 \sim 2.5 \times 10^6 $。