2.2.3 二维材料(如 石墨烯, MoS2, 六方氮化硼)


文档摘要

2.2.3 二维材料(如 石墨烯, MoS2, 六方氮化硼) 二维材料——石墨烯、二硫化钼(MoS₂)、六方氮化硼(h-BN)——早已不是教科书里泛泛而谈的“新奇材料”。它们是当下微纳电子、柔性光电器件、量子传感与原子级异质结工程中真正可加工、可集成、可量产的物理基元。但现实远比文献摘要残酷:一篇Nature子刊上展示的单层MoS₂场效应晶体管迁移率高达200 cm²/V·s,而你在洁净室里用CVD生长、干法转移、电子束光刻、原子层沉积(ALD)TiN源漏电极做出来的器件,开态电流可能只有10⁻⁸ A,关态漏电高达10⁻⁶ A,跨导几乎不可测。问题出在哪?不在理论,而在实现链上的每一个毫米级对准偏差、每一埃级界面氧化、每一个未被识别的褶皱应力场、每一段被忽略的退火动力学路径。


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