1.1.1 硅光子的基本定义:光子与电子在硅基平台上的深度融合


文档摘要

1.1.1 硅光子的基本定义:光子与电子在硅基平台上的深度融合 硅光子,不是光在硅里“跑个龙套”,而是让光子与电子在纳米尺度上签下一份严丝合缝的共生契约——这份契约的签署地,是厚度仅220纳米的单晶硅顶层;它的公证方,是CMOS工艺线中那台价值数亿美元的极紫外光刻机;而它的执行条款,则写在每一个弯曲半径小于5微米的波导拐角、每一处亚10纳米级对准误差的端面耦合结构、每一段被精确掺杂至$1.2 \times 10^{18}\,\text{cm}^{-3}$浓度的PN结载流子耗尽区之中。 我们常把“硅光子”挂在嘴边,仿佛它是一类器件、一种封装、甚至一个代工厂的PDK(Process Design Kit)名称。


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