4.1.2 后道工序(BEOL):多层金属互连与钝化层


文档摘要

4.1.2 后道工序(BEOL):多层金属互连与钝化层 在晶圆厂的洁净室里,当一片完成前端器件(FEOL)制造的硅片被缓缓送入后道工序(BEOL)产线时,它已不再是一块承载晶体管的“底板”,而是一张亟待编织神经网络的“活体大脑”。FEOL定义了计算的起点——源、漏、沟道与栅极;而BEOL,则赋予这颗大脑以血脉、筋络与护甲:金属互连是电信号奔涌的高速公路网,介质层是隔离串扰的绝缘屏障,通孔(via)是垂直跃迁的电梯井,钝化层则是抵御水汽、离子污染与机械划伤的最后一道生物膜。


发布者: 作者: 转发
评论区 (0)
U