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光刻其实什么都不刻:它在硅片上洗照片

作者: 灏天 · 收录于 芯片诞生记

内容摘要

光刻不动硅一根汗毛:涂胶、曝光、显影、刻蚀、去胶六步洗照片。附六步流水线播放器,可切正胶/负胶看图案反转。

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