193 纳米的光，怎么印出 7 纳米的线

作者：灏天 · 收录于芯片诞生记

内容摘要

瑞利公式 CD=k1·λ/NA：缩波长、垫水抬 NA、抠 k1，再加多重图形化。附分辨率计算器（四档光刻机预设）。

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