灏天文库

人类最精密的机器:一秒打靶 5 万次的照相机

作者: 灏天 · 收录于 芯片诞生记

内容摘要

激光每秒打 5 万颗 25µm 锡滴、打成 50 万°C 等离子体榨出 13.5nm 光。附 EUV 打靶八帧播放器 + ASML 独供的地缘账。

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