作者: 灏天 · 收录于 芯片诞生记
激光每秒打 5 万颗 25µm 锡滴、打成 50 万°C 等离子体榨出 13.5nm 光。附 EUV 打靶八帧播放器 + ASML 独供的地缘账。
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