3.1.2 聚合物：SU-8、PDMS及其在生物MEMS中的应用

文档摘要

3.1.2 聚合物：SU-8、PDMS及其在生物MEMS中的应用在生物MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）的微纳制造版图中，结构材料从来不是沉默的配角——它是微流控通道的血管壁、是细胞培养腔的基底床、是柔性电极的力学支撑、更是器官芯片中动态微环境的物理锚点。当硅基工艺在亚微米尺度上逼近光刻衍射极限，当LIGA技术受限于同步辐射光源的稀缺性，当金属薄膜在长期体液浸泡中悄然腐蚀……工程师的目光，便自然落向一类看似“柔软”的材料：聚合物。它们不靠刚硬取胜，而以可设计性、生物相容性、加工兼容性与系统级集成潜力，在毫米到百纳米的跨尺度空间里，悄然重构着生物微系统的底层逻辑。 SU-8与PDMS，正是这聚合物双子星中最耀眼的两颗。