文档摘要

3.2 功能材料 3.2 功能材料：MEMS器件的神经与筋骨 若将MEMS系统比作一座微缩的机械城市，那么结构材料是它的砖石与梁柱，封装材料是它的防护穹顶，而功能材料——则是这座城市的神经末梢、传感触角与驱动脉搏。它们不单承载力与形变，更在电、力、热、光、声多物理场耦合中主动“思考”、实时“响应”、精准“执行”。 会员。《3.2 功能材料》收录于灏天文库文集《MEMS微机电系统》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号50429。

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