4.3.2 玻璃微加工：超声波钻孔与氢氟酸刻蚀

文档摘要

4.3.2 玻璃微加工：超声波钻孔与氢氟酸刻蚀玻璃，这看似静默、透明、温顺的材料，在微纳制造的世界里，却是一头披着水晶外衣的猛兽。它坚硬、绝缘、化学惰性——这些本该是优点的特性，在微结构加工中却化作一道道高耸的壁垒：莫氏硬度7.0，远超不锈钢；热膨胀系数低至$3.25 \times 10^{-6} \, \text{K}^{-1}$，激光热应力易致崩裂；对绝大多数酸碱“冷眼旁观”，唯独对氢氟酸（HF）俯首称臣——可那恰恰是最危险的臣服。