文档摘要

4.3.2 玻璃微加工：超声波钻孔与氢氟酸刻蚀 玻璃，这看似静默、透明、温顺的材料，在微纳制造的世界里，却是一头披着水晶外衣的猛兽。 它坚硬、绝缘、化学惰性——这些本该是优点的特性，在微结构加工中却化作一道道高耸的壁垒：莫氏硬度7.0，远超不锈钢；热膨胀系数低至$3.25 \times 10^{-6} \, \text{K}^{-1}$，激光热应力易致崩裂；… 会员。《4.3.2 玻璃微加工：超声波钻孔与氢氟酸刻蚀》收录于灏天文库文集《MEMS微机电系统》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号50444。

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