文档摘要

5.1 集中参数建模（Lumped Parameter Modeling） 第5章：设计、仿真与建模 5.1 集中参数建模（Lumped Parameter Modeling）：在尺度坍缩中重建物理直觉的工程哲学 当一束激光掠过硅基微悬臂梁的末端，其反射光斑在光电探测器上微微颤动；当一个10微米宽的压电致动器在交变电压驱动下以20 kHz共振，带动上方微流控通道中的液滴发生可控分裂；… 会员。《5.1 集中参数建模（Lumped Parameter Modeling）》收录于灏天文库文集《MEMS微机电系统》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

该文档为会员专享，请先登录或注册后再查看

登录 注册

---

作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/756-mems%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F

整理： 灏天文库整理

由灏天文库平台收录，内容或由平台用户上传，仅供学习交流