文档摘要

6.1 惯性传感器 本节摘要：惯性传感器测的是最基础的运动量——直线加速度与旋转角速度，也是 MEMS 商业化最成功的品类。本节拆解加速度计如何借折叠梁与差分电容实现各向异性刚度、如何用静电力闭环换取线性度与带宽，陀螺仪如何把皮米量级的科里奥利位移放大到可测范围，以及 IMU 多轴融合中的对准、同步与滤波问题。 本节导读 阅读完本节，你应当能够： 推导单自由度振动系统的加速度—位移关系，说明灵敏度与带宽为何互相牵制。 会员。《6.1 惯性传感器》收录于灏天文库文集《MEMS微机电系统》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/756-mems%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F

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