6.1 惯性传感器（Inertial Sensors）

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6.1 惯性传感器（Inertial Sensors）第六章典型MEMS器件与应用系统 6.1 惯性传感器（Inertial Sensors）：在微尺度上重构运动感知的物理契约当一枚智能手机在指尖翻转，当一辆自动驾驶汽车在雨夜毫秒级修正转向，当航天器在深空无声校准姿态——支撑这一切的，并非宏大的机械陀螺或笨重的光学干涉仪，而是一颗面积不足指甲盖四分之一、厚度仅数十微米的硅芯片。它不发声，不发热，却以每秒数万次的频率默默测量着世界最本源的运动变量：加速度与角速度。这，就是MEMS惯性传感器——微机电系统皇冠上最精密、也最沉默的一颗宝石。它不是传统传感器的微型复刻，而是一场在物理定律边界上重新谈判的工程革命。