文档摘要

6.4 光学 MEMS（MOEMS） 本节摘要：光学 MEMS（MOEMS）用微机械结构调控光——微镜偏转、光栅位移、光开关切换。本节讲清数字微镜器件（DLP）如何用百万颗微镜合成图像，激光扫描微镜如何支撑 LiDAR 与 AR 近眼显示，以及硅光子与 MEMS 融合的可调谐器件。读完你将理解"机械运动控制光路"的独特价值与工程挑战。 学习目标 阅读完本节，你应当能够： 说出 MOEMS 相比电光调制器的核心优势。 会员。《6.4 光学MEMS》收录于灏天文库文集《MEMS微机电系统》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/756-mems%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F

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