第2章 鳍式结构的物理内核


文档摘要

第 2 章 · 鳍式结构的物理内核 章节摘要:第 1 章证明了几何必须改变,本章回答"立起来的沟道内部到底发生了什么"。三个层次递进:几何层——鳍宽、鳍高、栅长如何构成一套全新的三维参数体系;静电层——三面包裹为什么能把特征长度从十纳米压到几纳米、把亚阈值摆幅逼近 60 mV/dec 的红线;电学层——反型层、全耗尽、阈值电压与跨导这些设计师天天打交道的量,在鳍式结构里发生了哪些"反直觉"的变化。 会员。《第2章 鳍式结构的物理内核》收录于灏天文库文集《FinFET技术原理》,原作者/来源:灏天文库,整理自「灏天文库」,提供技术教程、实践指南与问题解决方案,支持在线阅读、全文检索与知识沉淀,助力开发者系统化学习。本站整理收录,版权归原作者/开源协议所有。

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