文档摘要

第 3 章 · 把鳍造出来：工艺与材料 章节摘要：第 2 章画出的是理想几何——5 纳米宽的鳍、三面贴合的栅、包裹鳍身的应力源。本章回答制造端的问题：这些几何如何在 300 毫米晶圆上被重复千亿次且次次一致。三个模块接力完成这件事：鳍成型先把"光刻画不出的线"用侧壁图形化绕出来，再用 STI 与 CMP 钉死高度基准；栅极工程用"假栅先行、真栅最后换入"的时序重排，让怕热的高 k 介质躲过千摄氏度的源漏退火；… 会员。《第3章 把鳍造出来：工艺与材料》收录于灏天文库文集《FinFET技术原理》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

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原文： https://aiknowledge.cn/collection/810-finfet%E6%8A%80%E6%9C%AF%E5%8E%9F%E7%90%86

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