文档摘要

第 7 章 · 终点与接班人 章节摘要：每一代工艺缩到尽头时，产业都会问同一个问题：还缩得动吗？FinFET 的答案是——鳍本身先到头了。不是光刻刻不出更窄的鳍，而是三笔账同时算不下去：鳍的高宽比撑不住结构、量子限制让栅控在鳍心失守、统计涨落在单鳍尺度上失控。接班人早已在 6.1 节的包角谱系尽头候场：环栅器件（GAA）把竖立的鳍放倒成水平堆叠的纳米片，完成第二次立体化——顺带把第 4 章的宽度量化难题还给了设计者。 会员。《第7章 终点与接班人》收录于灏天文库文集《FinFET技术原理》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

该文档为会员专享，请先登录或注册后再查看

登录 注册

---

作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/810-finfet%E6%8A%80%E6%9C%AF%E5%8E%9F%E7%90%86

整理： 灏天文库整理

由灏天文库平台收录，内容或由平台用户上传，仅供学习交流