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7.1 FinFET缩放的物理极限 "3 纳米之后为什么各家都换了架构？是光刻刻不出更窄的鳍吗？" 不是。极紫外光刻的分辨率够用，刻蚀也能把鳍做到五纳米以下。真正的答案是三笔账同时算不下去了：鳍的高宽比撑不住结构、量子限制让栅控在鳍心失守、统计涨落在单鳍尺度上失控——而且这三笔账互相锁死，任何一笔单独看都还有余地，叠在一起就是死局。本节把三重极限逐一拆开定量刻画，再看它们如何环环相扣，最终逼产业在鳍的巅峰期就宣布换代。 会员。《7.1 FinFET缩放的物理极限》收录于灏天文库文集《FinFET技术原理》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/810-finfet%E6%8A%80%E6%9C%AF%E5%8E%9F%E7%90%86

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