3.3.1 对比度（Contrast）与灵敏度（Sensitivity）

文档摘要

3.3.1 对比度（Contrast）与灵敏度（Sensitivity）在光刻工艺的精密世界里，光刻胶从来不是一块被动接受光照的“画布”，而是一台微纳尺度上的化学计算机——它用分子结构的异构化、交联或断裂，实时解算曝光剂量与空间分布的非线性方程；它用溶解速率的陡变，在硅片上刻写逻辑的边界；它用毫微米级的梯度响应，在0.5 nm的厚度波动中决定CD（Critical Dimension）控制的成败。当我们谈论“对比度”与“灵敏度”，我们并非在讨论两个孤立的性能标签，而是在拆解这台化学计算机的核心指令集与时序约束：对比度是它的逻辑门阈值精度，灵敏度是它的时钟周期响应延迟。二者共同定义了光刻胶作为“光-化学-溶解”三域耦合系统的动态工作点。