第五章：分辨率增强技术（RET）

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第五章：分辨率增强技术（RET）第五章：分辨率增强技术（RET） ——光刻演进的“第二大脑”：当物理极限成为起点，而非终点在半导体工业的宏大叙事中，摩尔定律从来不是一条平滑上升的直线，而是一曲由无数技术断崖与惊险跃迁谱写的交响。每一次制程节点的跨越——从微米到亚微米，从90纳米到5纳米，再到如今逼近2纳米甚至1.4纳米的工艺前沿——表面看是晶体管尺寸的持续微缩，实则是一场在光波与硅基之间展开的精密博弈。而在这场博弈中，光刻，始终是那个执棋者；分辨率，则是棋局中最不可让渡的主权。