文档摘要

5.1.2 降低 $k1$ 值的技术路径 在光学光刻的精密世界里，$k1$ 值从来不是一张静态的参数标签，而是一道动态的、可塑的、甚至可被“驯服”的物理边界。它悄然栖身于瑞利判据的公式核心： $$ CD = k1 \cdot \frac{\lambda}{NA} $$ 其中 $CD$ 是最小可分辨特征尺寸（Critical Dimension），$\lambda$ 是曝光波长，$NA$ 是投影物镜的数值孔径。 会员。《5.1.2 降低 $k_1$ 值的技术路径》收录于灏天文库文集《光刻工艺学》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号62396。

该文档为会员专享，请先登录或注册后再查看

登录 注册

---