文档摘要

5.2 离轴照明（OAI） 5.2 离轴照明（Off-Axis Illumination, OAI）：在衍射极限边缘重构光场的精密博弈 当一束平行光垂直入射到掩模版上，衍射级次沿对称方向铺展，零级与±1级在像面共轭处重叠——这是传统正入射照明（On-Axis Illumination, OAI的反义词，此处特指常规轴上照明）下光刻成像的“自然秩序”。 会员。《5.2 离轴照明（OAI）》收录于灏天文库文集《光刻工艺学》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号62397。

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