5.2 离轴照明（OAI）

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5.2 离轴照明（OAI） 5.2 离轴照明（Off-Axis Illumination, OAI）：在衍射极限边缘重构光场的精密博弈当一束平行光垂直入射到掩模版上，衍射级次沿对称方向铺展，零级与±1级在像面共轭处重叠——这是传统正入射照明（On-Axis Illumination, OAI的反义词，此处特指常规轴上照明）下光刻成像的“自然秩序”。它简洁、直观，却也脆弱：一旦图形周期逼近光学系统数值孔径（NA）与波长（λ）所允许的瑞利判据极限 $ R = k1 \frac{\lambda}{\mathrm{NA}} $，干涉条纹便迅速模糊，对比度坍塌，线宽控制失稳。