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6.4 下一代光刻探索 第六章：先进光刻技术 6.4 下一代光刻探索：在衍射极限之外重构图案化范式 当极紫外光（EUV）以13.5 nm波长叩开7 nm节点的大门，光刻工程师们并未松一口气——他们站在一座分水岭上：一边是物理定律划下的清晰边界，另一边是人类对微缩执念催生的全新路径。EUV虽已量产，却在3 nm以下遭遇多重“隐性天花板”：光源功率不足导致吞吐量受限；多层掩模反射率衰减引发对比度塌陷；… 会员。《6.4 下一代光刻探索》收录于灏天文库文集《光刻工艺学》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号62418。

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