3.4.2 异质集成(Heterogeneous Integration):晶圆键合(Waf...


文档摘要

3.4.2 异质集成(Heterogeneous Integration):晶圆键合(Wafer Bonding) 在硅光子学的宏大叙事里,光源始终是那个“缺席的主角”——它不生于硅,却必须栖身于硅;它不兼容CMOS工艺,却要与之共舞于同一片晶圆之上。当我们在3.4节直面“The Light Source Challenge”,真正刺入技术肌理的,并非“是否需要光源”,而是“如何让InP激光器的光子,精准、稳定、低损耗、高良率地‘落座’于45nm SOI硅波导的脊背上”。


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