第4章：微加工制造工艺（Fabrication）
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第4章：微加工制造工艺（Fabrication） 第4章：微加工制造工艺（Fabrication） ——MEMS世界的“铸剑术”：从硅基沙砾到智能器官的物质生成学 倘若将MEMS（微机电系统）比作一场横跨物理、材料、电子与机械边界的精密交响，那么设计是乐谱，建模是排练，封装是登台，而微加工制造工艺，则是真正让音符落于弦上、让振动化为声波的那双手。它不发声，却决定一切能否发声；它不决策，却裁定所有构想是否具备物质合法性。在MEMS知识体系的金字塔中，第4章不是某一层台阶，而是整座塔基——不是“之一”，而是“唯一不可替代的承重结构”。当我们在实验室里惊叹一枚加速度计能感知0.
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