3.3.2 应变硅 (Strained Silicon) 提升载流子迁移率

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3.3.2 应变硅 (Strained Silicon) 提升载流子迁移率当晶格“绷紧”时，电子开始奔跑——应变硅中SiGe虚衬底上硅沟道的临界应变调控实战手记你有没有试过轻轻拉伸一根橡皮筋？它变薄、变长，内部纤维被拉直，应力悄然积聚。此时若用指尖轻弹，振动传递得更快——不是因为材料变了，而是结构状态变了。在7纳米以下节点的FinFET与纳米片晶体管中，工程师们正以原子级精度做着同样的事：不是更换硅，而是让硅“绷紧”。应变硅（Strained Silicon）技术早已不是教科书里的概念彩蛋；