文档摘要

5.1 体硅 FinFET：主流路线的算盘 体硅路线的全部逻辑可以用一句话概括：鳍不是悬空的梁，是从大地里长出来的树。 根部与衬底原子级相连，给了它两项 SOI 永远拿不到的红利——便宜的晶圆与直达衬底的散热通路；也留了一条必须补课的暗道——源漏电场可以沿着鳍底绕行，穿通与寄生体 MOS 随时伺机而动。本节把这本账摊开算：红利、代价、筑坝的工程，以及一道清洗配方的十七天教训。 连着大地的红利，与一条暗道 先看红利。 会员。《5.1 体硅FinFET：主流路线的算盘》收录于灏天文库文集《FinFET技术原理》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

来源：灏天文库

原文： https://aiknowledge.cn/collection/810-finfet%E6%8A%80%E6%9C%AF%E5%8E%9F%E7%90%86

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