2.1.2 深紫外准分子激光（KrF 248nm, ArF 193nm）
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2.1.2 深紫外准分子激光（KrF 248nm, ArF 193nm） 2.1.2 深紫外准分子激光（KrF 248 nm, ArF 193 nm）：从气体放电物理到光刻产线级稳定输出的工程实现全链路解析 你有没有站在一台正在运行的ArF浸没式光刻机旁，听见过那声低沉、短促、近乎心跳般的“砰”——不是爆炸，而是高压预电离脉冲在氟化氩（ArF）混合气体中撕开一条瞬态导电通道时，等离子体雪崩击穿所释放的声学冲击？那一声之后，0.3 ns内，主放电电流峰值跃升至25 kA，腔体内温度瞬时突破40 000 K，电子密度飙升至$10^{17}\text{cm}^{-3}$量级；而就在这一片混沌等离子体的退火余晖中，一个波长严格锁定在$193.391 \pm 0.
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